发布时间：2023年12月18日明亮洁净的生产车间里
几名技术人员
正在为一台区内企业预定的
国产EFEM设备做检测调试
EFEM（设备前端模块，英文全称Equipment Front End Module）是连接物料搬运系统和硅片处理系统的桥梁，确保晶圆能在高洁净环境下通过精密机械手传输到工艺、检测模块，是所有半导体工艺、检测设备都必不可少的关键组成部分。
“我们的EFEM设备是100%自研，比任何一家厂商都具备国产化的优势。”王金池表示，作为半导体核心零部件设备之一，此前，EFEM的高端机型被国外供应商垄断。作为中国本土自制自动传送设备商，和崎精密专注于晶圆传输设备领域，突破国外技术垄断，自主研发的EFEM实现了集成电路细分领域关键设备和零部件的国产替代，产品整体性能领先国内细分市场。
EFEM包含晶圆装载系统（Loadport）、晶圆传输机器人（Robot）、晶圆对准器（Aligner）三大核心部件。和崎精密自主研发的国产EFEM设备，无论是三大核心部件，还是系统运算软件，均是企业自主研发。设备适配性好，可靠性高，达到芯片传输精度小于0.05毫米，传送速度每小时可以大于500片，平均故障时间大于10000小时，在精度、速度和稳定性等方面具有显著优势。
值得特别一提的是，和崎精密自主研发的国产EFEM设备，可根据用户功能要求，提供定制化传送解决方案和多样化配置选型 。同时，依托强大的技术支持能力，企业提供细致的售后维护服务 ，推进国产化发展。
生产环节落地北京亦庄后
企业订单量何以增长了10倍？
这得益于北京经开区完善的产业链群、开放的创新生态。作为一家创建、成长在北京亦庄创新沃土上的自制自动传送设备商，和崎精密成立于2016年，然而其技术团队早已在集成电路行业积累了25年以上的丰富经验，尤其在机械手臂、设备前端传送模块领域拥有多项实用专利。企业主营精密设备、半导体机器人、代理销售这三大业务，主要产品包括设备前端模块（EFEM）、晶圆传片机（Sorter）、8寸晶圆装载系统（Smif Port）等半导体核心精密传输部件，产品供给北方华创、华海清科、东方晶源等区内龙头企业，产业联动共促集成电路产业高质量发展。
企业的发展更离不开北京亦庄精准的政策体系和一流的营商环境。“这两年，企业发展迅速，急需扩大规模，经开区管委会专门划出一片土地供我们建厂房、扩规模，这让我们在北京亦庄发展信心更强、干劲更足。”王金池表示，在北京亦庄优质营商环境和创新土壤的滋养下，和崎精密将继续加强关键核心技术和关键零部件的自主研发，夯实自主创新能力，推进半导体核心零部件国产自主化。
作为首都高质量发展的开路先锋，依托创新的产业生态和优质的营商环境，北京亦庄共有集成电路重点企业200余家，形成了以中芯国际、北方华创为龙头的集成电路完整产业链，汇聚了以集创北方、奕斯伟等为代表的设计企业，以威讯为代表的封装企业，产业规模超过800亿元，占全市一半。
（注：本文转载至“北京日报APP”）