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硅片传送机械手 Clean Robot
ASV 系列-真空机械手
特点/Features:
● 真空环境应用
● 磁流体轴封密合
● 适用于窄门开口
● 采用高解析度步进驱动,重量轻
● S曲线速度控制
● 客制化设计R/L 轴、Z轴Stroke距离
尺寸/
Dimensions:
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TEL: +86-10-87927347 转 8818
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hq_sales@heqi-tech.com
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