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硅片定位器 Aligner
HA 系列 硅片定位器/Aligner
特点/Features:
● 采用高解析度CCD光学辨位系统
● 独创的算法,快速定位
● 优秀的感测能力,可对应透明材质工件,支持Notch、平边、双平边与翘曲晶圆
尺寸/Dimensions:
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TEL: +86-10-87927347 转 8818
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hq_sales@heqi-tech.com
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