HA 系列 硅片定位器/Aligner

特点/Features: 

  • ● 采用高解析度CCD光学辨位系统
  • ● 独创的算法,快速定位
  • ● 优秀的感测能力,可对应透明材质工件,支持Notch、平边、双平边与翘曲晶圆 

尺寸/Dimensions: